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電子顯微鏡金相顯微鏡的不同之處 - 分析行業(yè)新聞

返回列表 來源:微儀顯微鏡 發(fā)布日期:2023-03-03 16:07【
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  掃描電鏡 (Scanning ElectronMicroscope ),簡寫為 SEM,是一個復雜的系統(tǒng);濃縮了電子光學技術真空技術、精細機械結構以及現(xiàn)代計算機控制技術。掃描電鏡是在加速高壓作用下將電子槍發(fā)射的電子經(jīng)過多級電磁透鏡匯集成細小的電子束。在試樣表面進行掃描,激發(fā)出各種信息,通過對這些信息的接收、放大和顯示成像,以便對試樣表面進行分析。入射電子與試樣相互作用產生如圖 1所示的信息種類。這些信息的二維強度分布隨試樣表面的特征而變 (這些特征有表面形貌、成分、晶體取向、電磁特性等) ,是將各種探測器收集到的信息按順序、成比率地轉換成視頻信號,再傳送到同步掃描的顯像管并調制其亮度,就可以得到一個反應試樣表面狀況的掃描圖。如果將探測器接收到的信號進行數(shù)字化處理轉變成數(shù)字信號,就可以由計算機做進一步的處理和存儲。掃描電鏡主要是針對具有高低差較大、粗糙不平的厚塊試樣進行觀察,因而在設計上突出了景深效果,一般用來分析斷口以及未經(jīng)人工處理的自然表面。
 

  電子顯微鏡與金相顯微鏡
 

  一、光源不同:金相顯微鏡采用可見光作為光源,掃描電鏡采用電子束作為光源成像。
 

  二、原理不同:金相顯微鏡利用幾何光學成像原理進行成像,掃描電鏡利用高能量電子束轟擊樣品表面,激發(fā)出樣品表面的各種物理信號,再利用不同的信號探測器接受物理信號轉換成圖像信息。
 

  三、分辨率不同:金相顯微鏡因為光的干涉與衍射作用,分辨率只能局限于0.2-0.5um之間。掃描電鏡因為采用電子束作為光源,其分辨率可達到1-3nm之間,因此金相顯微鏡的組織觀察屬于微米級分析,掃描電鏡的組織觀測屬于納米級分析。
 

  四、景深不同:一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間,因此對樣品的表面光滑程度具有極高的要求,所以其的制樣過程相對比較復雜。而掃描電鏡則有很大的景深,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構。