干涉顯微鏡是利用光波的干涉原理精確測(cè)量試樣表面高度微小差別的計(jì)量?jī)x器。按其原理可以分為多束干涉顯微鏡和雙光束干涉顯微鏡兩類。這里僅就基于雙光束干涉的顯微鏡進(jìn)行論述。

干涉顯微鏡是根據(jù)光波干涉原理設(shè)計(jì)制造出來的。圖1中(a)為其光學(xué)系統(tǒng)示意圖。由光源1發(fā)出的光線經(jīng)聚光鏡2、濾色片3、光闌4及透鏡5后成平行光束，射向半反半透的分光鏡7后分成兩束：一束光線通過補(bǔ)償鏡8、物鏡9到平面反射鏡10，被10反射又回到分光鏡7，再由7經(jīng)聚光鏡11到反射鏡16，由16進(jìn)入目鏡12；另一束光線向上通過物鏡6，投射到被測(cè)零件表面， 由被測(cè)零件表面反射回來，通過分光鏡7、聚光鏡11到反射鏡16，由16反射也進(jìn)入目鏡12。這樣，在目鏡12的視場(chǎng)內(nèi)可以觀察到這兩柬光線因光程差而形成的干涉帶圖形。若被測(cè)試樣表面粗糙不平，則干涉帶將如圖1中(b)所示的彎曲狀；圖1中(c)為干涉顯微鏡的外形示意圖。 ^[2] 

圖1